今年7月，中微向福建高院正式起訴 “Veeco上?！?，指控其TurboDisk EPIK 700型號(hào)的MOCVD設(shè)備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國(guó)專利，要求其停止侵權(quán)并主張上億元侵權(quán)損害賠償。

中微半導(dǎo)體設(shè)備12月8日宣布，中國(guó)福建省高級(jí)人民法院同意了中微針對(duì)維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“Veeco上海”)的禁令申請(qǐng)，該禁令禁止Veeco上海進(jìn)口、制造、向任何第三方銷售或許諾銷售侵犯中微第CN 202492576號(hào)專利的任何化學(xué)氣相沉積裝置和用于該等裝置的基片托盤。該禁令涵蓋TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4機(jī)型的MOCVD設(shè)備，以及在該等MOCVD設(shè)備中使用的基片托盤。中微認(rèn)為Veeco EPIK 868機(jī)型MOCVD設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸和基片托盤鎖定同步裝置也使用了中微涉案專利技術(shù)，因此該裁定也涵蓋了Veeco的EPIK 868機(jī)型及在該設(shè)備中使用的基片托盤。

該禁令立即生效執(zhí)行，不可上訴。這一嚴(yán)格的禁令充分表明，Veeco上海公然侵犯了中微的知識(shí)產(chǎn)權(quán)， Veeco上海不尊重中微的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

點(diǎn)評(píng)：福建高院判決VeecoEPIK700機(jī)型在國(guó)內(nèi)禁售，是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的勝利。中微等國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)崛起，Veeco等海外企業(yè)僅靠專利戰(zhàn)無(wú)法擊敗中微。中微以彼之道還施彼身，顯示國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的創(chuàng)新與技術(shù)能力已經(jīng)不可同日而語(yǔ)。